Opteg公司离子束加工设备

2015-07-21

最近Toplens唯一代理引进的Opteg公司的离子束加工设备在中国科学院长春光机所的EUV课题组大获成功。Opteg的IBF离子束加工技术不仅可以面形修正，还可以刻蚀改善粗糙度，成功地加工出来满足DUV和EUV光刻镜头的PV<2.75nm, RMS<0.25nm的φ220mm镜子。入口面形和修正后的面形如下