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Opteg公司离子束加工设备

2015-07-21



最近Toplens唯一代理引进的Opteg公司的离子束加工设备在中国科学院长春光机所的EUV课题组大获成功。OptegIBF离子束加工技术不仅可以面形修正,还可以刻蚀改善粗糙度,成功地加工出来满足DUVEUV光刻镜头的PV<2.75nm, RMS<0.25nm的φ220mm镜子。入口面形和修正后的面形如下







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