Opteg公司离子束加工设备
2015-07-21
最近Toplens唯一代理引进的Opteg公司的离子束加工设备在中国科学院长春光机所的EUV课题组大获成功。Opteg的IBF离子束加工技术不仅可以面形修正,还可以刻蚀改善粗糙度,成功地加工出来满足DUV和EUV光刻镜头的PV<2.75nm, RMS<0.25nm的φ220mm镜子。入口面形和修正后的面形如下
自1998年由孟红祥博士创立公司以来, 历经苏州顶精光学公司,杭州顶尖光学公司的发展,Toplens已经成为专业、精密和可靠的高质量光学加工设备和检测仪器综合供应商的代名词。从2000年同德国OptoTech的合作,2005年同比利时A&R公司的合作到2011年同Opteg公司的合作,极大地丰富了我们可为中国客户提供的产品:从CNC数控的先进精密光学设备,包括球面、平面、非球面和自由曲面的加工设备和检测仪器,到包括镜片生产、检测和包装的眼镜光学设备。